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上海半導體行業污染物排放標準對廢氣處理有何修訂?

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文章出處:責任編輯:作者:李紅祥 手機:18410011020人氣:-發表時間:2021-03-11 16:41:00

上海積塔半導體廢氣處理工程案例

上海積塔半導體廢氣處理工程案例

  近日,上海市生態環境局發布的“關于征求《半導體行業污染物排放標準(征求意見稿)》意見的函”(滬環函〔2021〕27號),引起了半導體制造及環保行業的高度關注。半導體廢氣處理工程,可謂北京格林斯達廢氣處理環保公司的核心業務。對半導體行業廢氣處理,上海市半導體污染物達標排放標準(征求意見稿)對其做了哪些內容修訂,尤其值得我們關注。
  在半導體廢氣處理方面,上?!栋雽w行業污染物排放標準(征求意見稿)》對其做了以下修訂,如下:
  1、半導體行業廢氣處理方面,調整了大氣污染物排放標準的排放速率控制方式,將原來按不同排氣筒高度制定標準調整為執行同一標準;
  編制說明:排氣筒排放的有組織廢氣,采用排放濃度與排放速率共同控制的方式?,F行標準在排放速率控制方面,根據不同的排氣筒高度給出了不同的排放速率標準限值要求,排氣筒越高,制定的排放速率也越大,允許企業排放的污染物總量也越大。這樣的要求并不能起到促進降低企業排放的目的,征求意見稿中排放速率的限值不再與排氣筒高度相關。
  2、調整了半導體行業廢氣處理污染物控制項目:增加了大氣污染物控制項目顆粒物、氯氣、氮氧化物、苯、錫及其化合物、砷化氫、磷化氫、非甲烷總烴、氰化氫;
  編制說明:現行標準中有組織廢氣的控制因子為硫酸霧、氯化氫、氟化氫、氨和VOCs等5項。征求意見稿根據企業排放特性和監管要求,增加了氮氧化物、顆粒物、非甲烷總烴、氰化氫、苯、氯氣、錫及其化合物、砷化氫和磷化氫等9項指標有組織廢氣控制因子。
  3、調整了半導體行業廢氣處理部分污染物項目的排放限值:收嚴了硫酸霧、氯化氫、揮發性有機物等3項大氣污染物的排放限值;
  4、增加了廠界大氣污染物控制點濃度限值;
  編制說明:半導體行業企業在生產過程中對環境要求很高,基本上都在潔凈廠房內進行作業?,F行標準未對廠界提出控制要求。為了保護公眾健康,防范環境風險,征求意見稿設置了包括非甲烷總烴在內4項指標的廠界大氣污染物濃度限值。
  5、更新了部分污染物項目的測定分析方法。

征求意見稿中有關大氣污染物排放限值要求如下所列:

污染源大氣污染物排放限值

 

  排放氯氣、氰化氫、砷化氫、磷化氫的排氣筒高度不低于25m,其他排氣筒高度不低于15m;
  進入VOCs燃燒(焚燒、氧化)裝置的廢氣需要補充空氣進行燃燒、氧化反應的,排氣筒中實測大氣污染物排放濃度,應換算成基準含氧量為3%的大氣污染物基準排放濃度;
  VOCs(揮發性有機物)分析方法標準:HJ734《固定污染源廢氣揮發性有機物的測定固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質譜法》;
  為減少全氟化物(PFCs)排放對環境產生的影響,集成電路制造企業應制訂PFCs排放的年削減計劃,通過優化工藝、原料替代、循環利用、污染治理等措施減少PFCs的排放;
  半導體新建項目應避免采用燃燒式預處理方式(POU)處理含氯廢氣。

廠界大氣污染物監控點濃度限值

廠界大氣污染物監控點濃度限值

  以上是從上海市半導體行業污染物排放標準(征求意見稿)內容中,選取的半導體行業廢氣處理方面的最新內容修訂。歡迎大家繼續關注格林斯達官網環保行業最新動態,謝謝!

 

 

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